УДК 621.382:621.315.592

А. В. Каримов, Д. М. Ёдгорова, О. А. Абдулхаев

УПРАВЛЕНИЕ ПРОФИЛЕМ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ В ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЯХ, ВЫРАЩЕННЫХ ИЗ РАСТВОРА-РАСПЛАВА С КОНТРОЛИРУЕМЫМ ОБЪЕМОМ И СОСТАВОМ
Исследованы возможности получения линейных и нелинейных профилей распределения примеси жидкостной эпитаксией. Получены аналитические выражения для профиля распределения примеси в эпитаксиальных слоях, выращенных из растворов-расплавов с постоянным объемом и с изменяющимся объемом, где изменение объема основного раствора-расплава и количества легирующей примеси в нем достигается за счет примешивания к нему дополнительного насыщенного раствора-расплава через капиллярное отверстие. Показано, что в этом случае профиль распределения примеси определяется скоростью подачи дополнительного раствора-расплава. Приведены сравнения экспериментальных данных с расчетными. Ключевые слова: жидкостная эпитаксия, профиль распределения примесей, коэффициент распределения, раствор-расплав, капиллярное отверстие, смешивание. Физико-технический институт НПО "Физика-Солнце" АН Республики Узбекистан. 100084, г. Ташкент, ул. Бодомзор йули, 2б; э-почта: karimov@uzsci.net. Поступила 03.07.2010.