Описание
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) SSM-310 представляет собой атомно-силовой микроскоп в комплексе с аппаратными и программными средствами, необходимыми для измерения и анализа с нанометровым разрешением микро- и нанорельефа поверхностей, объектов микро- и нанометрового размерного диапазона, их микромеханических и других свойств.

ОПИСАНИЕ ПРЕДЛОЖЕНИЯ
Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп SSM-310 включает измерительный модуль и блок электроники управления. Измерительный модуль, состоящий из базовой платформы и устанавливаемой на ней измерительной головки, обеспечивает анализ свойств движущегося образца под неподвижным зондом. Максимальные размеры образца: Ø40 мм, высота 13 мм.
Базовая платформа обеспечивает установку измерительной головки, а также размещение и сканирование образца. Включает пьезоплатформу для XYZ-перемещения исследуемого образца с помощью системы автоматического подвода/отвода. Размер сканируемой области до 120x120x120 мкм, разрешение по XYZ до 0,2 мкм. Скорость сканирования пьезоплатформы 80 мкм/сек по XY, 20 мкм/сек по Z. Платформа XY-позиционирования обеспечивает автоматизированное перемещение измерительной головки относительно предметного столика в плоскости XY в пределах 25х25 мм (шаг до 2,5 мкм, визуальный контроль до 2,5 мкм). Измерительная головка с лазерно-лучевой схемой детектирования отклонения консоли зонда поддерживает работу в статических и динамических режимах. Ориентирована на применение АСМ-зондов (Si, SiN) на чипах размером 3,6x1,4x0,6 мм, устанавливаемых в сменном держателе. Встроенная видеосистема повышает удобство контроля и настройки зонда при обзоре образца и позиционировании зонда. Увеличение оптической системы 6,5Х при фокусном расстоянии 92 мм. Камера разрешением 2МР, размер окна визуализации 1980x1080 точек, частота смены кадров до 60 кадров в секунду. 
В зависимости от специфики исследовательских задач СЗМ SSM-310 может комплектоваться специализированными сменными модулями для проведения микротрибометрических и адгезиометрических измерений или наноиндентирования. 

ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
Блок управления: 442х423х330 мм. Блок сканирования: 300х500х650 мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ И ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
SSM-310 позволяет проводить исследования в следующих режимах:
Контактная статическая АСМ (отображение рельефа, силы прижатия, латеральных сил)
Латерально-силовая микроскопия (в режиме контактной статической САМ
Многоцикловое сканирование участка (для статической и  динамической САМ
Динамическая амплитудно-частотная силовая спектроскопия
Наноиндентирование, наноцарапание, наноизнашивание по линии
Силовая нанолитография
Температурно-зависимые измерения (для всех режимов)

Комплекс может конкурировать с наиболее сложными и дорогостоящими аналитическими приборами, обеспечивает необходимую точность и воспроизводимость результатов анализа при значительно меньшей стоимости без предъявления высоких требований к квалификации пользователей. АСМ SSM-310 совместим с зондами сторонних производителей, с внешними антивибрационными платформами сторонних производителей.

Функциональность микроскопа может быть расширена при помощи дополнительных модулей. Настоятельная потребность разработчиков новых материалов, нанотехнологий, исследователей в точном экспресс-анализе наноматериалов, позволяющем повысить качество выпускаемых изделий и их конкурентоспособность, гарантирует значительное число потребителей такой аппаратуры и методик выполнения измерений.
Технология внедрена и успешно используется в нескольких десятках образовательных, научно-исследовательских и производственных организациях в Республике Беларусь, а также странах ближнего и дальнего зарубежья: Вьетнам - Academy of Science Institute of Applied Physics and Scientific & Instruments; Саудовская Аравия - King Abdulaziz University; Польша - Gdynia Maritime University; Россия – Институт высокомолекулярных соединений РАН; Донской государственный технический университет.



Рис. Схема атомно-силового микроскопа и изображения модифицированных 
зондов   для исследования поверхности

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ 
Физика твердого тела, микроэлектроника, оптика, тонкопленочные технологии, нанотехнологии, полупроводниковые технологии, сверхтвердые материалы, стекла и сопряженные технологии, микро- и нанотрибология, чистовая обработка поверхностей, полимеры и композиты на их основе, системы прецизионной механики, магнитной записи, вакуумной техники, визуализация наноструктур, анализ биологических объектов (мембран, клеток и т.д.).
 

Рис. Микроструктура поверхности покрытия MoCN, 
полученная с помощью SSM-310: 
a) 7 % C; б) 18 % С

СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТКИ
Новая технология. Внедрена и успешно используется в нескольких десятках образовательных, научно-исследовательских и производственных организациях в Республике Беларусь, а также странах ближнего и дальнего зарубежья.

СВЕДЕНИЯ О ПАТЕНТАХ
Патенты РБ: № 16535 от 2012.12.30 «Способ сканирования образца на СЗМ»; № 20037 от 2016.04.30 «Способ исследования поверхности проводящего объекта с помощью СЗМ»;  №20077 от  2016.04.30 «Cпособ определения патологии биологических клеток».

ПРЕДЛАГАЕМЫЕ ФОРМЫ СОТРУДНИЧЕСТВА
  • Выполнение исследований по договорам НИОК(Т)Р. 
  • Изготовление приборов. Сопровождение освоения оборудования, техническая поддержка.
  • Гарантия производителя до двух лет.
  • Поставка, наладка, обучение персонала работе с прибором.
  • Техническая документация.
  • Предоставление оснастки и принадлежностей, расширяющих и/или улучшающих базовые функции прибора