Назначение и основные характеристики
Используется для получения снимков высокого разрешения объектов, имеющих наноразмерную структуру, и анализа элементного состава образцов
- максимальное разрешение: 0,7 нм
- увеличение: от 57x до 2,5*106x
- ускоряющее напряжение: 0.3–30 кВ
- рекомендуемый размер образца (не более): 1x1 см
- детекторы: In-Lens (внутрилинзовый), детектор вторичных электронов SE2, BSE
- система рентгеноспектрального микроанализа INCA Energy 350
Растровый электронный микроскоп SUPRA – 55WDS:
«Carl Zeiss AG», Германия
Система рентгеноспектрального микроанализа INCA Energy 350:
«Oxford Instruments», Великобритания
Год ввода в эксплуатацию
2007г
Метрологическое обеспечение
МВИ "Методика выполнения измерений линейных размеров наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 при работе с InLense и SE (BSE) детекторами"
МВИ "Методика выполнения измерений линейных размеров наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 при работе с STEM детектором"
МВИ "Определение элементного состава наноматериалов и наноструктур с помощью растрового электронного микроскопа SUPRA 55 с системой микроанализа INCA Energy 350. Методика выполнения измерений"