Основные направления деятельности
- Проведение научно-исследовательских работ в области процессов формообразования поверхностей путем реализации эффекта массопереноса − унос материала с обработанной поверхности, характеризующийся энергией переноса.
- Изучение процессов наноизнашивания. Исследование трибологических и механохимических взаимодействий.
- Поиск, анализ, разработка, изготовление, испытание и внедрение техники и технологий для высокоточной обработки поверхностей деталей оптической, полупроводниковой и других отраслей промышленности.
- Разработка эффективных конструктивных схем и изготовление оборудования, модулей и сопутствующей оснастки для обработки плоских, выпуклых и вогнутых деталей, включая крупногабаритные изделия и компоненты.
- Поиск и разработка составов реологических жидкостей для полирования твердых, сверхтвердых, химически нестойких, водорастворимых, наноструктурированных материалов, включая тонкие пленки и покрытия.
- Создание алгоритмов и средств управления, разработка специального программного обеспечения для реализации процессов формообразования, включая подготовку и использование реологических жидкостей.
- Проведение контактного и бесконтактного комплексного контроля состояния поверхностей до и после обработки изделий. Использование результатов контроля для определения технологических параметров формообразования и полирования
Экспериментальная база
- Лабораторная установка для полирования
- Комплекс для формообразования и полирования изделий размером до 420 мм
- 2-х и 3-х координатные модули для обработки изделий до 2,5 метров
- Интерферометр ИКД-110 3D
- Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Разработки
Технологии и оборудование для высокоточного формообразования и финишного магнитореологического полирования плоских, сферических и асферических поверхностей прецизионных деталей:
- Технологии формообразования и полирования
- Специальные установки для формообразования и полирования
- Модули, расширяющие технологические способности оборудования
- Полировальные составы для финишной обработки поверхностей
- Программное обеспечение
- Комплексная диагностика состояния поверхности
Примеры использования предлагаемых разработок
- Формирование асферической поверхности оптического изделия, имеющего первоначальную сферическую форму
- Автоматизированная обработка локальных участков поверхности со снятием различного припуска (режим "ретушь")
- Снятие тончайшего дефектного слоя, образовавшегося при выполнении предшествующих операций, для повышения лучевой прочности оптических элементов лазерных систем (включая изделия из водорастворимых кристаллов)
- Финишная обработка поверхностей длинномерных труб, калибров, сложных сочленений, прецизионных направляющих, выполненных из немагнитных металлических сплавов
- Планаризация поверхностей интегральных схем, имеющих сложное морфологическое и топологическое строение, для изготовления компонентов 3D электроники
- Полирование крупногабаритной оптики, зеркал и сегментов зеркал, изготовленных из церодура, ситалла и карбида кремния
Достоинства
- Габаритные размеры обрабатываемых изделий от 3 мм до 2,5 метров, среднеквадратичная точность формы до λ/100; среднеквадратичная шероховатость поверхности Rq = 0,2-2,5 нм
- Полная автоматизация технологии обработки позволяет достичь высокого уровня воспроизводимости результатов как для отдельных участков единичного изделия, так и серии деталей