Описание

Назначение и основные характеристики

Предназначена для осуществления операций электронномикроскопического препарирования, связанных с распылением материалов в вакууме, а также может быть использована для металлизации материалов в вакууме, нагрева и охлаждения исследуемых образцов, очистки образцов и распыления материалов с помощью ионной бомбардировки.

• Остаточное давление в рабочем объеме при охлаждении ловушки водой: 1,3*10-3 Па
• Остаточное давление в рабочем объеме при охлаждении ловушки жидким азотом: 1,3*10-4 Па
• Максимальное давление наполнения водорода: 2,5 МПа
• Ток накала испарителей: до 200 А
• Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя без нагрузки: 10 кВ
• Максимальный ток тлеющего разряда: 50 мА
• Год ввода в эксплуатацию: 2011