ОСАЖДЕНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК Cu И Al В ВАКУУМЕ ЛАЗЕРНЫМ МЕТОДОМ

Получены наноразмерные металлические пленки меди и алюминия. Пленки осаждались на подложки лазерно-плазменным методом в вакууме. Определена структура поверхностей пленок в зависимости от плотности мощности воздействующего лазерного излучения на металлические мишени. Найдены пороги испарения для
алюминия и меди под воздействием наносекундного лазерного импульса
Автор:  В. К. Гончаров, Г. А. Гусаков, М. В. Пузырев
Ключевые слова:  лазерно-плазменное осаждение, наноразмерные металлические пленки, эрозионная лазерная плазма
Стр:  960