ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ КОМБИНИРОВАННОЙ МАГНЕТРОННО-ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ В ПРОЦЕССАХ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

Рассматриваются структурная схема установки для комбинированного магнетронно-лазерного нанесения покрытий, системы контроля и управления этим процессом. Представлены результаты влияния газовой среды и параметров лазерного излучения на эмиссионно-оптические свойства лазерной плазмы. Анализируется влияние лазерной плазмы на электрические характеристики магнетронного разряда. Установлено образование инициируемого лазерной плазмой импульсного дугового разряда и определено влияние параметров лазерного излучения на электрические характеристики этого разряда. Сравниваются эмиссионные оптические спектры плазмы магнетронного разряда и эрозионной лазерной плазмы в отдельности и при их комбинации.
Автор:  А. П. Бурмаков, В. Н. Кулешов, К. Ю. Прокопчик
Ключевые слова:  плазма магнетронного разряда, эрозионная лазерная плазма, комбинированная магне- тронно-лазерная плазма, дуговой разряд, оптическая спектроскопия
Стр:  1281