Моделирование процесса диффузии ионно-имплантированного мышьяка в системе поликремний-кремний

Построена модель процессов переноса примесных атомов в системе поликремний-кремний, описывающая явление сегрегации примеси вблизи границы раздела фаз. Разработан алгоритм и проведены численные расчеты процесса диффузии мышьяка с учетом неоднородного распределения дефектов вблизи границы раздела фаз.
Автор:  О. И. Величко , Ф. Ф. Комаров , Н. М. Луканов , А. Н. Мучинский , Н. Л. Прохоренко , В. А. Цурко
Стр:  1025-1032